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多晶硅坩埚烧结炉

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　本公司通过多年的调研、探索、实践与研究，已经对多晶硅坩埚烧结炉控制系统、工作原理、内部结构、热场控制和分析等方面作了深入研究，并成功研制了JGRT12-189，JGRT12-189B型多晶硅坩埚烧结炉，在此基础上，公司开发、制造新一代大型多晶硅坩埚烧结炉，目前本项目涉及的关键技术已基本解决，相关的技术已获得了多项专利，并经用户试用，产品稳定性可靠性得到了认可。
　　多晶硅坩埚烧结炉...

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